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一、項目基本情況
原公告的采購項目編號：3324-DHNS2132H183（SZDL2021339808）
原公告的采購項目名稱：物理系外延薄膜生長系統(tǒng)采購項目
首次公告日期：2021年8月17日
二、更正信息
更正事項：□采購公告 R采購文件 □采購結(jié)果
更正內(nèi)容：
序號 | 貨物名稱 | 原招標(biāo)技術(shù)要求 | 現(xiàn)招標(biāo)技術(shù)要求 |
1 |
外延薄膜生長系統(tǒng) | （一）PLD腔室 | |
▲7.1配備激光加熱裝置，使用工業(yè)級紅外激光器，功率≥200W，樣品加熱溫度≥1000°C以上，10Pa臭氧環(huán)境中可以加熱≥850℃；10*10mm樣品區(qū)域； | ▲7.1配備激光加熱裝置，使用工業(yè)級紅外激光器，功率≥200W，樣品加熱溫度≥1000°C以上，10Pa臭氧環(huán)境中可以加熱≥850℃；10mm*10mm樣品區(qū)域；10mm x10mm大小樣品的溫度不均勻度 | ||
▲8.2.靶臺可以公轉(zhuǎn)（用于選靶），靶臺可以自轉(zhuǎn)，同時在X方向上線性掃描，公轉(zhuǎn)、自轉(zhuǎn)和掃描由步進馬達(dá)驅(qū)動。靶臺自轉(zhuǎn)和線性掃描可以在激光束不動的情況下，使激光相對掃過整個靶材表面，從而保證激發(fā)出的等離子體羽輝位置、角度都不發(fā)生改變； | ▲8.2.靶臺可以公轉(zhuǎn)（用于選靶），靶臺可以自轉(zhuǎn)，同時在X方向上線性掃描，公轉(zhuǎn)、自轉(zhuǎn)和掃描由步進馬達(dá)驅(qū)動。靶臺自轉(zhuǎn)和線性掃描可以在激光束不動的情況下，使激光相對掃過整個靶材表面，從而保證激發(fā)出的等離子體羽輝位置、角度都不發(fā)生改變；（提供產(chǎn)品彩頁）。 | ||
8.5. 靶臺配有水冷； | 8.5. 靶臺配有水冷；（提供產(chǎn)品彩頁） | ||
（二）MBE腔室 | |||
▲4.2.加熱樣品臺采用輻射和電子束加熱的方式，溫度≥1000℃；低溫樣品臺通過液氮實現(xiàn)80K-RT的變溫； | ▲4.2.加熱樣品臺采用輻射和電子束加熱的方式，溫度≥1000℃；低溫樣品臺通過液氮實現(xiàn)80K-RT的變溫；（提供產(chǎn)品彩頁） |
更正日期：2021年8月26日
三、其他補充事宜
1.采購文件如涉及上述內(nèi)容的亦作相應(yīng)修改，本通知與原采購文件矛盾之處，以本通知為準(zhǔn)。
2.投標(biāo)人有義務(wù)在采購活動期間瀏覽相關(guān)網(wǎng)站，在網(wǎng)上公布的與本次采購項目有關(guān)的信息視為已送達(dá)各投標(biāo)人。
3.招標(biāo)文件已重新上傳，請投標(biāo)人重新下載修改后的招標(biāo)文件，并按照最新版招標(biāo)文件制作投標(biāo)文件加密并上傳。
四、凡對本次公告內(nèi)容提出詢問，請按以下方式聯(lián)系。
1.采購人信息
名 稱：南方科技大學(xué)
地址：深圳市南山區(qū)西麗學(xué)苑大道1088號
聯(lián)系方式：顏老師 0755-88018081
2.采購代理機構(gòu)信息
名 稱：深圳市東海國際招標(biāo)有限公司
地 址：深圳市南山區(qū)留仙大道4168號眾冠時代廣場A座35樓3509號
聯(lián)系方式：0755-86103786轉(zhuǎn)802/806
3.項目聯(lián)系方式
項目聯(lián)系人：常工、樊工
電 話：0755-86103786轉(zhuǎn)802/806
深圳市東海國際招標(biāo)有限公司
2021-08-26
